在真空PVD镀膜加工表面上进行清洗处理十分重要，它直接影响产品的质量。加工零件进入镀膜车间前，必须对其进行认真的镀前清洁处理，表面污染来自工件在加工、输送、包装过程中粘附的各种尘埃、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物质，为避免加工过程中出现不良现象，真空镀加工厂家基本上可以采用去油或化学清洗的方法去除。

对于经清洗处理的清洁表面，不能存放在大气环境中，应存放在密闭容器或清洁柜内，以减少灰尘污染。在刚氧化的铝容器中储存玻璃衬底，可以将烃类蒸汽的吸附降到最低程度。由于这些容器对烃类的吸附优先。对高度不稳定、对水汽敏感的表面进行真空镀膜处理，一般应保存在真空干燥箱中。

采用真空PVD处理镀膜工艺可清除镀膜室内灰尘，并设置洁净度高的工作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺环境的基本要求。在空气湿度大的地区，除镀前对底板、真空室各部分进行仔细清洗外，还应进行烘烤除气。为了防止油液进入真空室内，注意油液扩散泵的回流，对于高热功率的扩散泵应采取防油措施。